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超音波半導体ウェーハコーティング
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超音波半導体ウェーハコーティング

超音波半導体ウェーハコーティング

商品番号: FS620
周波数: 20-200khz (オプション)
電力: 1-15ワット
連続噴霧量(最大):0.5~10ml
有効噴霧幅:2~20mm
スプレーの均一性: 95% 以上
溶液粘度:30cps以下
噴霧粒子(中央値):10~45μm(蒸留水)、
ノズル周波数によって決定される

 

 

説明:

 

ウェハーコーティングは、ウェハーレベルでチップボンディング接着剤を自動的に塗布し、その後次の段階でチップボンディングフィルムを形成することを容易にする独自のプロセスです。 FUNSONICの超音波半導体ウェーハコーティング技術は、プロセス速度、厚さ制御、材料の均一性を実現できるウェーハコーティングに適しています。ホットまたは UVB ステージとウェーハ切断の後、加熱と圧力によってチップ接続が行われ、一貫した接着ラインと制御された小さなコーナーが生成されます。

超音波半導体ウェーハコーティング技術では、使用中に超音波周波数、スプレー速度、コーティングの厚さなどのスプレーパラメーターを考慮する必要があり、特定の材料や要件に応じて最適化する必要があります。同時に、コーティングの粘度、表面張力、揮発性などの材料特性もスプレー効果に一定の影響を与える可能性があるため、材料を選択する際にはこれらを考慮する必要があります。

 

パラメータ:

 

FS620 Focusmist Type Mini

 

応用 :

 

1. 感光層のコーティング:
フォトリソグラフィーでは、超音波技術のノウハウを利用して感光性材料を均一にコーティングし、確実に高解像度のサンプルを転写します. 2.。保護コーティング:

耐腐食性と耐傷性の保護コーティングを塗布して、ウェハーの頑丈さを飾ります。-
3. 機能性コーティング:
特定の用途では、特定の電気的または光学的特性を持つ機能性材料をコーティングできます。

 

 
超音波ノズル(オプション)
 

周波数 25khz ~ 200khz

60KHz Ultrasonic Fine Line Spary Nozzle 4
マイクロスプレーノズル
100Khz Ultrasonic Spray Nozzle 3
フォーカスミストスプレーノズル
120Khz Ultrasonic Spray Nozzle 6
ワイドミストスプレーノズル
Ultrasonic Precision Spray Coated 3
集合スプレーノズル
 
Ultrasonic Probe Type Nozzle 40Khz 1
ペネトレータースプレーノズル
Ultrasonic Scattering Nozzle 2
飛散スプレーノズル
Ultrasonic Precision Spray Coated 1
コーンミストスプレーノズル
Ultrasonic Wide Open Mist Spray Nozzle 3
広範囲スプレーノズル

 

スプレー効果

 

Ultrasonic Spray Nozzle 2
Ultrasonic Spray Nozzle 3
 
Ultrasonic Spray Nozzle 1
Ultrasonic Spray Nozzle 4
 

focusmist Type

2

 

FS620 FUNSONIC

私たちの場合
 

応用分野

 

Application Case 1 Application Case 2

Application Case 3

Application Case 4

 
認証

 

Certification

 

 

私たちの研究室

 

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Lab

 

当社の生産ライン

 

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梱包&配送

 

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1 2001
2 2001
3 2001

 

私たちのチーム

 

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企業展示会

 

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