真空蒸気堆積のための超音波スプレー技術

Apr 25, 2025

FS620M 2

超音波原子化噴霧システムは、真空チャンバーへの統合に使用されます。実験を通じて、ポリマー蒸気堆積（PVD）や金属有機化学蒸気堆積（MOCVD）などのアプリケーションに適した、ユニークな超音波霧化システム設計を真空密閉プラットフォームに統合できることが証明されています。超音波霧化噴霧システムによって生成される特徴的な低速霧化は、狭い液滴分布と周波数制御液滴サイズの蒸気雲を生成する可能性があります。超音波霧化ノズルが高周波音波を機械的振動に変換することにより機能するという事実により、ノズル表面と接触している液体は空気またはガスを添加せずに霧化されるため、噴霧プロセス中に真空チャンバーの完全性は弱まりません。

超音波霧化スプレーシステムに統合された超音波発電機テクノロジーは、霧化に必要な電気エネルギーを提供し、高度な負荷分散関数を装備し、異なる真空条件に適応するように自動的に調整できるため、真空堆積プロセス中に最も安定した噴霧特性を維持できます。

超音波霧化噴霧システムは、高温真空環境に適しており、適切な熱保護を確保するために冷却能力と温度監視機能を備えています。